寄云异常检测与诊断系统 FDD
寄云 NeuSeer FDD
简介

寄云FDD异常检测与诊断系统,能够处理每秒百万级测点的数据采集和实时处理,构建实现数以万计关键工艺测点的实时状态监测,并基于机理模型构建实时的上下文条件来定义更动态的控制门限。

支持在线的统计过程控制和多维度的异常检测,支持通过机器学习构建工艺指标和监测指标之间的模型,实现虚拟量测,支持通过机器学习实现自动的根因分析,更支持多维度的指标预测和预警。

联系演示
价值体现
使工程师更容易掌控设备的特性,提高设备和工艺的稳定性以提升良率和设备稼动率
解决量产中持续发生的问题,实现Scrap/ReworkGlass(报废/返工)的最小化
对造成良率的设备和工艺问题,提供分析、诊断、预测等有力数据证据
异常检测与诊断系统
故障检测与分类FDC
对于生产中需要监控的各种关键指标,根据指标的各种特征,设定相应的监控策略,并对违背策略的异常进行告警。
统计过程控制SPC
根据历史数据,计算Cp/Cpk进行一致性评估;基于规则和历史数据,设定指标和控制门限(SL/CL),并应用于关键结果的在线监测。
根因分析RCA
基于历史数据的机器学习和预制的关联拓扑,自动构建输入指标和输出结果之间的关联模型,并在结果异常的时候自动计算不同贡献因子的权重。
虚拟量测VM
基于工艺数据和检测数据的机器学习,可构建工艺数据与检测数据之间跨时间维度的映射关系,实现基于实时工艺数据预测滞后的检测。